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濕度發(fā)生器建標用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

濕度發(fā)生器定制兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計量校準需求。

雙股流法濕度發(fā)生器非標定制利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器半導體芯片老化測試用兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計量校準需求。

氣體濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。