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標(biāo)準(zhǔn)溫濕度發(fā)生器高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

低露點(diǎn)發(fā)生器在一定條件下能發(fā)生水蒸氣含量穩(wěn)定且可知的氣流或氣氛的裝置的總稱，可以在相對(duì)濕度為2-95%的范圍內(nèi)控制。同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)氣體流量，溫度的精確控制。自主研發(fā)的可蒸發(fā)相變技術(shù)，可以提供成分濃度穩(wěn)定（波動(dòng)小于1%）且可以連續(xù)調(diào)控的所需氣體。

小型濕度發(fā)生器通過改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據(jù)道爾頓分壓定律，先使氣體在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩(wěn)定的低壓狀態(tài)，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據(jù)飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準(zhǔn)確測(cè)定。

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測(cè)量?jī)x表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

半導(dǎo)體測(cè)試專用濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器是一種用于在高溫高濕（85°C溫度和85%相對(duì)濕度）環(huán)境下進(jìn)行可靠性測(cè)試的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于光伏組件、電子元器件、材料老化測(cè)試等領(lǐng)域?。